Keywords:
Изучено влияние бомбардировки ионами Ar+на состав и структуру поверхности SiO2/Si. Обнаружено, что при высокодозной ионной бомбардировке на поверхности SiO2 образуется тонкая пленка Si
Abstract
Изучено влияние бомбардировки ионами Ar+на состав и структуру поверхности SiO2/Si. Обнаружено, что при высокодозной ионной бомбардировке на поверхности SiO2 образуется тонкая пленка Si
References
Демидов Е.С., Михайлов А.Н., Белов А.И., Карзанова М.В.,