Physical and Mathematical Sciences | Article | Published 2016

Sostav morfologya elektronnaya strurtura nanorazmernix faz, sozdannix na poverxnosti SiO2 bobbardirovkoy ionami Ar+

Authors:
Collection: Журнал технической физики
Keywords: Изучено влияние бомбардировки ионами Ar+на состав и структуру поверхности SiO2/Si. Обнаружено, что при высокодозной ионной бомбардировке на поверхности SiO2 образуется тонкая пленка Si

Abstract

Изучено влияние бомбардировки ионами Ar+на состав и структуру поверхности SiO2/Si. Обнаружено, что при высокодозной ионной бомбардировке на поверхности SiO2 образуется тонкая пленка Si

References

  1. Демидов Е.С., Михайлов А.Н., Белов А.И., Карзанова М.В.,
  2. Демидова Н.Е., Чигиринский Ю.И., Шушунов А.Н., Те-тельбаум Д.И., Горшков О.Н., Европейцев Е.А. // ФТТ.
  3. 2011. Т. 53. Вып. 12. С. 2294–2298.
  4. [2] Громов Д.Г., Пятилова О.В., Булярский С.В., Белов А.Н.,
  5. Раскин А.А. // ФТТ. 2013. Т. 55. Вып. 3. С. 562–566.
  6. [3] Комаров Ф.Ф., Власукова Л.А., Мильчанин О.В., Мохови-ков М., Пархоменко И., Вендлер Е., Веш В., Мудрый А.
  7. Тр. XXI Междунар. конф. взаимодействие ионов с поверх-ностью. Ярославль, Россия, 2013. Т. 2. C. 96–100.
  8. [4] Kanemitsu Y., Kushida T. // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 77.
  9. № 22. P. 3550–3552.
  10. [5] Hoppe K., Fahrner W.R., Fink D., Dhamodoran S., Petrov A.,
  11. Chandra A., Saad A., Faupel F., Chakravadhanula V.S.K.,
  12. Zaporotchenko V. // Nucl. Instr. Meth. B. 2008. Vol. 266.
  13. P. 1642–1646.
  14. [6] Болтаев Х.Х., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. //
  15. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные
  16. исследования. 2014. № 4. С. 24–29.
  17. [7] Эргашов Ё.С., Ташмухамедова Д.А., Раббимов Э. // По-верхность. 2015. № 4. С. 38–43.
  18. [8] Нормурадов М.Т., Умирзаков Б.Е. Энергетические спек-тры поверхности твердых тел, имплантированных ионами
  19. низких энергий. Ташкент.: ФАН. 1989. 158 с
Loading...
0

Views

0

Reads

0

Comments

0

Reviews

0

Liked

0

Shared

0

Bibliography

0

Citations

Like and share on

Cite this publication

Copy text below and use in your article